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Center of MicroNanoTechnology CMi

Vacotec
Joule evaporator

Responsables

Guy.Clerc@epfl.ch

 

 

Introduction:

L'quipement Vacotec permet de dposer par vaporation des couches mtalliques ou isolantes sur des plaques de diamtre 100mm

Deux sources de chauffage par effet joule avec diffrents type de nacelles sont disponibles.

L'paisseur est mesure durant le dpt par la dviation de la frquence d'un oscillateur quartz.

L'quipement est rserv des usages spcifiques dans des phases exploratoires concernant des nouveaux matriaux trs faible temprature de fusion.

Une formation spcifique en fonction du projet est demander.

 

Standard user check list:

A disposition ct de la machine

Les modules de contrle

Etat normal: 

Balance quartz