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Center of MicroNanoTechnology CMi

Vacotec
Joule evaporator

Responsables

Guy.Clerc@epfl.ch

 

 

Introduction:

L'équipement Vacotec permet de déposer par évaporation des couches métalliques ou isolantes sur des plaques de diamètre 100mm

Deux sources de chauffage par effet joule avec différents type de nacelles sont disponibles.

L'épaisseur est mesurée durant le dépôt par la déviation de la fréquence d'un oscillateur à quartz.

L'équipement est réservé à des usages spécifiques dans des phases exploratoires concernant des nouveaux matériaux à très faible température de fusion.

Une formation spécifique en fonction du projet est à demander.

 

Standard user check list:

A disposition à côté de la machine

Les modules de contrôle

Etat normal: 

Balance à quartz