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Center of MicroNanoTechnology CMi

Guide RT (french)

 

RiteTrack 88 Serie Automatic Coater & Developer Tracks

 

Introduction

Une ligne de déposition et développement de laque photosensible  est un équipement de production permettant de préparer automatiquement et rapidement des lots de plaquettes pour la photolithographie. Un minimum d’intervention humaine permet d’augmenter la reproductibilité et diminuer le nombre de défauts provoqués par des poussières.
La préparation de plaquettes exemptes de renflement de laque photosensible à proximité du bord des plaquettes (Edge bead removal, EBR) est un autre avantage du système.
Une librairie standard est disponible sur le disque dur d'un ordinateur auxiliaire et permet de charger en quelques secondes une recette d'application.

Restriction d'accès et précautions

Description de la machine

La machine comporte deux pistes indépendantes («Track ») :

sender
wafer
cassette

hotplate

chillplate

developer

hotplate
(softbake)

chillplate

receiver
wafer
cassette

sender
wafer
cassette

coater

hotplate 

chillplate

receiver
wafer
cassette

La ligne de dépôt (coater line, Track 1, Controler #1)
Située à l’avant de la machine, elle permet de déposer la résine photosensible (PR), d’effectuer le « softbake » et refroidir la plaquette avant de la déposer dans le panier de réception.

La ligne de développement (Track 2A, Controler #2 and Track2B, Controler #3)
Situé à l’arrière, il est subdivisé en deux parties. La première partie permet d’effectuer un recuit supplémentaire dit recuit d’inversion ou PEB (Post Exposure Bake). La deuxième partie permet de développer la plaquette et d’effectuer le recuit final (Hardbake).

Chaque piste comporte une station de chargement (sender) et de réception (receiver) qui traite les wafers un à un à partir d’une cassette (panier) standard. Le traitement peut être effectué automatiquement « mode automatic », wafer après wafer « mode single » ou sans transport « mode manual ». Seuls les wafers silicium ou métallisés peuvent être traités en mode automatique.

La machine est contrôlée par trois microcontrôleurs. La programmation de bas niveau de ces contrôleurs est facilitée par le système informatique RTRM (Rite Track Recipe Manager) installé sur le côté gauche de la machine.

 

Programmation des recettes :

Pour des raisons de stabilité des procédés, l’accès au mode programmation des recettes est protégé (niveau maintenance). Adressez-vous aux responsables de zone pour introduire un nouveau programme dans la librairie.

La programmation d’une nouvelle recette valide demande beaucoup de temps de « debugage ». Il est recommandé de s’inspirer des recettes existantes pour générer de nouveaux programmes.

 

Questions fréquentes

Initialisation du logiciel: Charger systmatiquement les recettes avant de commencer un travail. Dans le cas o les programmes proposs ne fonctionnent pas, les procdures suivantes permettent de retrouver une configuration initiale:
Choisir le menu exit, confirmer la sortie du logiciel.
Une icne RiteTrack apparat au centre de lcran windows.
Dmarrer lapplication et vrifier la progression de linitialisation.
La connexion sur les trois contrleurs doit stablir en quelques minutes.
Reprendre la procdure standard de prparation

Procédure de chargement donne des erreurs (case rouge): Dans la plupart des cas, un des trois contrôleurs est occupé ou en erreur (voir ci-dessous).
Commencer par rechercher et remédier à ces erreurs.
Lors de la mise en service de nouvelles recette, toutes les recettes chargées doivent être contrôlée une à une en mode « ingénieur ». Une seule erreur bloque le processus.

Traitement des alarmes et autres problèmes: Lutilisation de cet quipement est facile, cependant de nombreux contrles sont effectus par la machine en temps rel et peuvent donner des alarmes sonores. Dans ce cas, restez calme! et suivez la procdure suivante:

 

Remarque.

Ne jamais couper l’alimentation électrique par le bouton on/off. Demandez de l’aide à un membre du staff CMI au moins par téléphone au responsable principal ou à son remplaçant.

Voici les messages d’erreur les plus fréquents

Sender (receiver) strt ?

Switch du panier correspondant non quittancé

Spindle at top ?

Oubli du login sur le PC de zone

CVFrame ?

Couvercle de protection absent ou mal positionné

Temp. out of band

Un four (hotplate) n’est pas à la température de consigne, le procédé continu automatiquement une fois la consigne rétablie.

Develop. Low level

Vérifier le niveau de révélateur (Staff)

 

La plupart des besoins spécifiques des utilisateurs peuvent être satisfaits en utilisant un programme disponible dans la liste ci-dessous, ou en modifiant les paramètres d’un procédé existant. Des nouveaux procédés peuvent être ajoutés à la librairie par un responsable de l’équipement aux conditions suivantes :

Une modification des produits (PR ou révélateurs) mis en ligne nécessite une procédure de qualification pour assurer un maximum de stabilité des procédés de la majorité des utilisateurs. Ce type de projet doit être discuté en comité technologique afin d’évaluer les priorités et les moyens à mettre en œuvre.

Caractéristiques techniques

Capacité de l’équipement