Reservation  -     

Center of MicroNanoTechnology CMi

 

Manuel pour Etuve Heraeus T6060

Heraeus T6060

Attention Remarques préliminaires fondamentales:
  • Seule les créneaux de login avec l'azote enclenché (bouton vert activlé/allumé) sont facturés.
  • Le logout n'est possible que si l'azote est arrêté (bouton vert désactivé).

Table des matières: CMI

  1. Introduction
  2. Les différents modes de fonctionnement de l'étuve
  3. Procédés standards du CMI
  4. Mode opératoire

I. Introduction CMI

Létuve Heraeus du CMI est programmable selon différents modes :
La consigne de température ne peut pas dépasser le réglage maximale dusine de 340C. Ce réglage est théorique, et il ne faut pas dépasser 295C en pratique sous peine de déclencher la sécurité (interlock à réarmement manuel).

Description de la partie commande
Figure 1: Description de la partie commande

II. Les différents modes de fonctionnement de l'étuve CMI

A l'alumage de l'étuve

Mode régulateur




Actionner la touche pour afficher: A chaque pression sur cette touche ces différentes valeurs vont défiler, pour en modification une il faut maintenir la touche enfoncée au passage de la variable que lon veut changer et agir avec digit et up



Le cycle commence dés que les paramètres sont rentrés !

Mode minuterie




Il existe deux modes de fonctionnement : Durée de cycle:

Après le début du cycle, le temps restant peut être connu en une pression sur la touche



le cycle commence dés que les paramètres sont rentrés !
Pour le fonctionnement sans minuterie choisir le mode tf0 et introduire 0 pour le temps!

Mode programmateur




Affichage : Mode programmateur :



Nombre de segments du programme
Cycle : 0 = sans reprise; 1 = reprise des segments
Température P0 enC au point 0
Temps en heures minutes au point 1
Température P1 en C au point 1
Démarrage du programme : Démarrer le programme en actionnant simultanément les deux touches :



Affichage après le démarrage du programme (segment 1):



Cette touche visualise la consigne à tout moment pendant le déroulement du programme :



A la fin du programme le symbole tP apparaît sur lafficheur et le programme est prêt à démarrer de nouveau.
En cas de panne de secteur, le programme retournera à l'état tP.
Lors de répétitions, le programme reprendra immédiatement au début.

III. Procédés standards du CMI CMI

Le tableau ci-dessous présente les paramètres d'un programme de recuit pour le polyimide. Le ségment 3 a été volontairement ajouté car il permet d'éviter une alarme en fin de procédé, ce qui assure que le dernier segment à 295C dure bien 1 heure.
ParamétreValeurDesciption
Pr10:no program/1:internal program/2:external program
N5nombre de segments dans la rampe de température
R01:reprise du programme/0:exécuter une seule fois
Z020.0point P0 fixé à 20C
T10.45durée du premier segment en hh.mm ici 45 min (4C par min)
P1200.0P1 fixé à 200C
T20.30durée du second segment en hh.mm ici 30 min
P2200.0P2 fixé à 200C
T30.01ségment ajouté pour obtenir un procédé sans alarme à la fin du cycle 5m
P3200
T40.25durée du 4eme segment 25 min
P4295.0P4 fixé à 295C ici n=4
T51durée du 5eme segment 1 heure
P5295P5 fixé à 295C ici n=5
r1retour au début

IV. Mode opératoire CMI

  1. Se connecter sur l'étuve via le PC principal de zone 2
  2. Tourner linterrupteur principal de l'étuve sur on et choisir un des 3 modes disponibles. Vérifier et modifié le programme si nécessaire. Charger les substrats et démarrer le procédé
  3. Le balayage d'azote dans l'étuve peut être activé et désactivé à tout moment par une pression sur le bouton vert situé en bas à gauche de l'étuve. Lorsque le bouton est allumé l'azote circule
  4. A la fin d procédé, désactiver le balayage d'azote (bouton vert éteind). Mettre l'étuve sur Off et décharger les substrats
  5. Effectuer le logout de l'équipement. ATTENTION le logout est impossible si l'azote est toujours en balayage