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Center of MicroNanoTechnology CMi

Nikon 200 zone 1

 

Nikon OPTIPHOT 200

Inspection Optical Microscope model "Nikon PPTIPHOT 200" can be found in each area dedicated for photolithography

LINKS to digital camera

Content (en)

Table des matières (fr)

 

Introduction

Precautions

Précautions

 

Description de la machine

Check List

Mode opératoire

Image grabing

Prise d'image

Specifications

Questions fréquentes

References


Zone 1 – Microscope optique d’inspection avec traitement des image digitales

Zone 6 – Microscope optique d’inspection avec caméra CCD

Introduction

Les microscopes d’inspection optique du CMI sont adaptés à l’observation de plaquettes. La surface doit rester le plus possible planaire pour bénéficier des meilleures performances de l’optique. L’observation se fait en mode episcopique (éclairage par le dessus). Aucun additif (objectif à immersion, collage de substrats, etc..) n’est toléré en salle blanche.

Les options installées sont :

Precaution/Restrictions d'accès et précautions

Never touch light source at the rear of the microscope (heat !)

Ne jamais toucher le boîtier de la source lumineuse (chaleur !)

Take care of appropriate focus distance. Use smallest magnification objective for approaching slowly the sample surface. Take car of motorized objectives rotation

Rechercher la distance focale avec précaution en utilisant l’objectif de faible grossissement. Attention au mouvement rotatif des objectifs.

Description de la machine

Les microscopes d’inspection de plaquette de type « optiphot » sont équipés pour une observation en mode épiscopique (en mode de réflexion de la lumière). Les filtres de couleur, les filtres polarisant ainsi que les prismes « Normasky » permettent de mettre en évidence certains détails en modifiant les contrastes. Le réglage du diaphragme d’ouverture permet de modifier la profondeur de champ et fonction du type d’échantillon. En réduisant l’ouverture, le gain en profondeur de champ permet de visualiser l’ensemble de la topographie. En ouvrant au maximum, la focalisation permet de distinguer des profils selon l’axe z de l’ordre de 1-2 µm.

Check List / Mode opératoire :

Never disassemble parts of instrument. All adjustments including image rotation has to be done with remote control or stage control buttons.

CCD camera control enable with mouse. Use right mouse button to toggle screen only, menu window and tool bar. Never save changes in menu configured by CMI (clearly mentioned in window menu) OR push "Default" OR "Save" in Setup.

Access to your image file ONLY TROUGH the computer network. NEVER take memory CF card out of the controller

Ne faite aucun ajustement autre que les réglages accessibles par télécommande ou par les contrôles mécaniques de la table (y compris la rotation de l'image).  Ne jamais démonter des composants

La caméra CCD est contrôlée à l'aide de la souris. Le bouton de droite permet d'obtenir la superposition des menus et la bare d'outil. N'appliquer en aucun cas des changements définitifs en sauvant des configuration déjà mentionnée comme CMI dans la fenêtre d'information. Les changement dans le setup, y compris la touche "Default" sont interdit!

L'accès à vos images ne doit se faire que à travers le réseau informatique. Ne tenter jamais de sortir la carte mémoire CF.

Sit comfortable. Adjust Eyepiece distance and high

Asseyez-vous devant l’appareil et ajuster hauteur et écartement des oculaires

 

If station is not powered, use main power on switch located under the table on your left hand side

L’alimentation électrique générale se trouve sous la table à votre gauche.

(zone 1) La caméra CCD et son controler restent sous tension (accèssible par réseau)

 

(Zone 1)

To use video channel a CCD camera is available.

Control of CCD camera is available using a flat screen and a mouse at the right hand side of the Nikon.

Access to CCD menu:
Right-Click with the mouse
Top screen = CAM menu
Middle screen= CAM menu + Shotcuts
Bottom screen=Shotcuts

 

(zone 1)

Une caméra CCD (5Mpixel) est disponible sur le canal vidéo.

Le contrôleur est disponible à l'aide de l'écran plat et la souris à gauche de l'appareil.

Utilisation de la caméra digitale :
Click-droite à la souris
       Haut d'écran= CAM menu
       Milieu d'écran= CAM menu + Shotcuts
       Bas d'écran=Shotcuts

Accès aux fichiers d'images:

(1 dossier par jour AnnéeMoisJour)

Check List Mode opératoire :

Wafer loading / Chargement

Select Yellow Filter  (Y..) when you will inspect photoresist before the end of lithography.

Other filter selection can be choosen. Add neutral filter for protection against UV light (direct observation through eyepieces)

Vérifier la presence d’un filter jaune (Y..) avant d’inspecter une résine avant la fin du procédé de photo.

D’autres sélection de filtre sont possible (Filtre neutre ND.. pour vous protèger des UV en observation par oculaire)

Zone 1 : Unlock gate and move XY table by pressing the Stage Coarse Lever.

Lock fin mouvement with a gate button on the lever. Use fine X, Y, Theta fine commands

Zone 6: Unlock fine move by pressing down lever located on the top of  the X and Y fine command.

Zone 1: Débloquer la table en pressant le levier des mouvements rapide.

Utiliser les boutons rotatifs pour les mouvement fins (X, Y, Theta) (gachette pour relacher le mouvement grossier)

Zone 6 : Débloquer le mouvement fin en abaissant le levier au-dessus des boutons de réglage X, Y

 

Manual loading :

Move the XY table to the front.  Manual load wafer on the chuck. Use of a paper to protect backside is recommended ONLY for double side wafer.

Automatic load (see option). No paper on chuck.

Effectuer un chargement manuel, table le plus possible en avant et dégagé des objectifs.

L’usage d’un papier sur le chuck ménage les face arrière, mais dégrade la stabilité de l’image à haut grossissement.

Le chargement automatique est décrit ci-dessous en option. Non compatible avec un papier.

Check List / Mode opératoire : 
Use / Utilisation

Main remote commands:

Light intensity

Aperture Diaphragm

Objective selector (Lowest = 1 to highest=5 magnification)

Polarizer rotation

Normasky contrast with prisms inserted (on nosepices)

Commandes centralisées:

Intensité

Ouverture

Selection des objectifs

Polarisation

Contrast Normasky avec les prismes inséré au dessus des objectifs

Fine Focus ONLY with remote controller (3 sensitivities available)

La commande de focalisation fine se fait UNIQUEMENT avec la télécommande !

Beam splitter for eyepieces or video chanel + eyepieces

Adjust field diaphragm with “Bright” field “Dark” field mode

Position “oculaires” ou “canal Vidéo + ocuéaires”

Mode champ « clair » ou champ « noir » . Ajuster le diaphragme de champ !

Options: Digital image grabbing  / Prise de vue digitale
(Zone 1)

 


 

Beam splitter for video chanel + eyepieces.

Toggle Show/hide CCD menu or Toolbar with right mouse botton

Choose Cam menu

Choose C1 under  "Easy" menu tag (cmi-fast-scan). Adjust lamp intensity (right way is a code bar fully in green)

Adjust Focus and microscope diaphragmes and filters. Increase or decrease magnification. Use XY table to center  target.

Tirette sur canal vidéo + oculaires

Activer les menus à l'aide du bouton droit de la souris

Activer le menu Cam

Choisir C1 sous  "Easy" pour activer le scan rapide

Ajuster la focalisation et autre réglages du microscope. Cadrer le centre du sujet

Choose C2 to C4 for respectively Normal, High Resolution and DarkField. Full screen is available but at lower screen refresh speed.

Fine focus, digital magnification can be use (lens + icon)

Press "Freeze image" (Pause symbol

Passer aux réglages C2 à respectivement pour Normal (3Mpixel), High Resolution et DarkField. Tout l'écran est utilisé,mais la vitesse de rafrîchissement deveint plus lente.

Focaliser finement. Un zoom digital est disponible (lens + icon)

Presser "Freeze image" (Pause symbol),
En option,  une échelle calibrée (et d'autres outils) peut être ajoutée choisir les réglages s1 à s5 en fonction de l'objectif utilisé (1 à 5).

Next "Capture image" (Capt). The whole image is captured (x100% magnification)
File is saved on a remote server. (ftp://128.178.163.20)

 

Le bouton " Capt " capture l'image en créant un fichier en format jpeg sur serveur ftp.(ftp://128.178.163.20)

 

 

 

Questions fréquentes

Aucune image sur le contrôle du CCD :  Vérifier la position du levier d’observation oculaire / Photo (80%) & oculaire (20%). L'écran et le contrôleur doivent être enclenchés (LED en vert).

Aucune lumière ou ombre n’est visible dans les oculaires : Augmenter l’intensité de la source de lumière et observer si de la lumière est diffusée par le substrat ou si de la lumière blanche est visible à travers les fentes de ventilation de la source. Avertir un membre du staff si rien ne se passe (changement de lampe interdit par les utilisateurs)

Comment trouver facilement la surface de l’échantillon : Commencer par le mode « Bright Field », choisir l’objectif No1 (petit grossissement), fermer le diaphragme de champ au maximum, mettre au net le bord du diaphragme de champ en ajustant la distance de focalisation (bouton de réglage grossier  en surveillant la distance entre l’échantillon et l’objectif), augmenter l’intensité de la source de lumière si nécessaire.
Une fois le bord du diaphragme repéré, ouvrir ce dernier légèrement (éviter le vignetage de l’image) et commencer à explorer l’échantillon. La premières structure ou défaut permet d’affiner votre réglage.

Problèmes de netteté ou d’image trouble en mode d’observation par oculaire : Commencer par vérifier la position des filtres et prismes amovibles (filtres de couleur, polarisants et prismes Normarski), ils doivent tous se trouver soit en position insérée ou en position de repos, jamais entre deux.

Texte et dessins flous en mode "overlay": Capturer les images directement en mode bitmap (bmp) à l'aide de l'interface WEB (demander l'accès à Room1 si nécéssaire)

Specifications

References: