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Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Spectro-rflectomtre
NANOSPEC 6100

Table des matires

Introduction

Principe Physique

Capacit de lquipement

Restriction d'accs

Caractristiques techniques

Informations

Introduction

Principe Physique

6100-cmi.htm

Capacit de lquipement

         Le porte-substrat permet de mesurer des plaques dont le diamtre est compris entre 75mm et 200mm.

Restriction d'accs

         Les substrats autoriss sont les plaques de silicium, verre (float glass, pyrex, ...) ou quartz.

         Pour viter les problmes de contamination croise avec les autres quipements, il est impratif d'utiliser les brucelles ddies (resist , pocl3, metal, clean, ) pour manipuler les plaques.

Caractristiques techniques

Informations

Bibliographie :

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