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Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Spectro-réflectomètre
NANOSPEC 6100

Table des matières

Introduction

Principe Physique

Capacité de l’équipement

Restriction d'accès

Caractéristiques techniques

Informations

Introduction

Principe Physique

6100-cmi.htm

Capacité de l’équipement

·         Le porte-substrat permet de mesurer des plaques dont le diamètre est compris entre 75mm et 200mm.

Restriction d'accès

·         Les substrats autorisés sont les plaques de silicium, verre (float glass, pyrex, ...)  ou quartz.

·         Pour éviter les problèmes de contamination croisée avec les autres équipements, il est impératif d'utiliser les brucelles dédiées (resist , pocl3, metal, clean, …) pour manipuler les plaques.

Caractéristiques techniques

Informations

Bibliographie :

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