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Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Microscope optique d'inspection de plaques
NIKON OPTIPHOT 150

Table des matières

Introduction

Principe Physique

Caractéristiques techniques

Informations

Introduction

Le microscope NIKON OPTIPHOT 150 permet l'inspection optique des plaques en cours de fabrication.

Les fonctionnalités sont :

·         Microscopie en fond clair (B.F. Bright Field) pour l'observation des formes et des couleurs naturelles.

·         Microscopie en fond noir ou en lumière rasante (D.F. Dark Field) pour l'observation des imperfections en surface tels les grains, impuretés et défauts non visibles en fond clair.


 

Principe Physique

La microscopie en fond clair (B.F. Bright Field) utilise la différence de réflexion des motifs pour l'observation des formes et des couleurs naturelles.

·         Pousser le levier de commutation du bloc miroir jusqu'à sa limite pour mettre le bloc miroir fond clair (indication "B.F.") dans le trajet optique.

·         Mettre sous tension et régler le variateur de luminosité sur 9V ("9").

·         Pousser le levier du filtre de densité ND8 pour le mettre dans le trajet optique.

·         Introduire le filtre NCB11 dans le trajet optique.

·         Pousser le levier de commutation du trajet optique pour obtenir une sortie lumineuse de 100% vers l'oculaire.

·         Effectuer la mise au point en commençant par l'objectif 5x.

·         Régler la luminosité avec le variateur de lumière.

·         Régler le diaphragme de champ (F : Field) de façon à ce qu'il soit un peu plus petit ou un peu plus grand que le champ de vision. Le diaphragme de champ détermine la taille de la zone illuminée de la plaque par rapport au champ de vision dans l'oculaire. S'il est trop ouvert, une lumière parasite pénètre dans le champ de vision et diminue le contraste de l'image.

·         Régler de diaphragme d'ouverture (A : Aperture) jusqu'à 70-80% du diamètre de la pupille de sortie de l'objectif. Le diaphragme d'ouverture est utilisé pour ajuster l'ouverture numérique du système d'éclairage et il joue un rôle important pour déterminer la résolution de l'image et le contraste. Pour régler le diaphragme, retirer l'oculaire et observer l'image sur la pupille de sortie de l'objectif visible à l'intérieur du tube binoculaire. Si nécessaire, baisser la luminosité avec le variateur de lumière. Une image nette avec un bon contraste peut généralement être obtenue lorsque l'ouverture est à 70-80% du diamètre de la pupille de sortie de l'objectif.

La microscopie en fond noir ou en lumière rasante (D.F. Dark Field) permet de détecter les imperfections en surface tels les grains,  impuretés et défauts non visibles en fond clair.

·         Tirer le levier de commutation du bloc miroir jusqu'à sa limite pour mettre le bloc miroir de fond noir (indication "D.F.") dans le trajet optique.

·         Mettre sous tension et régler le variateur de luminosité sur 12V ("12").

·         Pousser le levier du filtre de densité ND8 pour le mettre dans le trajet optique.

·         Introduire le filtre NCB11 dans le trajet optique.

·         Ouvrir complètement les diaphragmes à l'aide des molettes.

·         Pousser le levier de commutation du trajet optique pour obtenir une sortie lumineuse de 100% vers l'oculaire.

·         Effectuer la mise au point en commençant par l'objectif 5x.

·         Régler la luminosité avec le variateur de lumière.

Caractéristiques techniques

Les fournitures du microscope sont :

·         1 filtre NCB11.

·         Type : conversion de couleur.

·         Usage : microscopie générale.

·         Emplacement : porte-filtres.

·         1 filtre GIF.

·         Type : vert interférentiel.

·         Usage : microscopie monochrome et réglage du contraste.

·         Emplacement : porte-filtres.

·         1 filtre ND8.

·         Type : anti-reflets.

·         Usage: anti-reflets pour microscopie en fond clair.

·         Emplacement : intégré au bras du microscope (Levier de filtre ND8).

·         1 diaphragme d'ouverture (A : Aperture).

·         1 diaphragme de champ (F : Field).

·         1 table pour des plaques de 3 à 6 pouces.

·         5 objectifs d'agrandissement 5x, 10x, 20x, 50x, 100x de type CF Plan BD DIC:

Agrandissement

Ouverture numérique.

Distance de travail (mm)

5x

0.13

10.0

10x

0.30

7.0

20x

0.46

3.10

50x

0.80

0.54

100x

0.90

0.39

N.B. : Les objectifs ne sont pas équipés du filtre de Nomarski.

Informations

NIKON Microscope d'inspection de tranches (CI) - OPTIPHOT-150 - OPTIPHOT-150S - Mode d'emploi.