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Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Microscope optique d'inspection de plaques
NIKON OPTIPHOT 150

Table des matires

Introduction

Principe Physique

Caractristiques techniques

Informations

Introduction

Le microscope NIKON OPTIPHOT 150 permet l'inspection optique des plaques en cours de fabrication.

Les fonctionnalits sont :

         Microscopie en fond clair (B.F. Bright Field) pour l'observation des formes et des couleurs naturelles.

         Microscopie en fond noir ou en lumire rasante (D.F. Dark Field) pour l'observation des imperfections en surface tels les grains, impurets et dfauts non visibles en fond clair.


 

Principe Physique

La microscopie en fond clair (B.F. Bright Field) utilise la diffrence de rflexion des motifs pour l'observation des formes et des couleurs naturelles.

         Pousser le levier de commutation du bloc miroir jusqu' sa limite pour mettre le bloc miroir fond clair (indication "B.F.") dans le trajet optique.

         Mettre sous tension et rgler le variateur de luminosit sur 9V ("9").

         Pousser le levier du filtre de densit ND8 pour le mettre dans le trajet optique.

         Introduire le filtre NCB11 dans le trajet optique.

         Pousser le levier de commutation du trajet optique pour obtenir une sortie lumineuse de 100% vers l'oculaire.

         Effectuer la mise au point en commenant par l'objectif 5x.

         Rgler la luminosit avec le variateur de lumire.

         Rgler le diaphragme de champ (F : Field) de faon ce qu'il soit un peu plus petit ou un peu plus grand que le champ de vision. Le diaphragme de champ dtermine la taille de la zone illumine de la plaque par rapport au champ de vision dans l'oculaire. S'il est trop ouvert, une lumire parasite pntre dans le champ de vision et diminue le contraste de l'image.

         Rgler de diaphragme d'ouverture (A : Aperture) jusqu' 70-80% du diamtre de la pupille de sortie de l'objectif. Le diaphragme d'ouverture est utilis pour ajuster l'ouverture numrique du systme d'clairage et il joue un rle important pour dterminer la rsolution de l'image et le contraste. Pour rgler le diaphragme, retirer l'oculaire et observer l'image sur la pupille de sortie de l'objectif visible l'intrieur du tube binoculaire. Si ncessaire, baisser la luminosit avec le variateur de lumire. Une image nette avec un bon contraste peut gnralement tre obtenue lorsque l'ouverture est 70-80% du diamtre de la pupille de sortie de l'objectif.

La microscopie en fond noir ou en lumire rasante (D.F. Dark Field) permet de dtecter les imperfections en surface tels les grains, impurets et dfauts non visibles en fond clair.

         Tirer le levier de commutation du bloc miroir jusqu' sa limite pour mettre le bloc miroir de fond noir (indication "D.F.") dans le trajet optique.

         Mettre sous tension et rgler le variateur de luminosit sur 12V ("12").

         Pousser le levier du filtre de densit ND8 pour le mettre dans le trajet optique.

         Introduire le filtre NCB11 dans le trajet optique.

         Ouvrir compltement les diaphragmes l'aide des molettes.

         Pousser le levier de commutation du trajet optique pour obtenir une sortie lumineuse de 100% vers l'oculaire.

         Effectuer la mise au point en commenant par l'objectif 5x.

         Rgler la luminosit avec le variateur de lumire.

Caractristiques techniques

Les fournitures du microscope sont :

         1 filtre NCB11.

         Type : conversion de couleur.

         Usage : microscopie gnrale.

         Emplacement : porte-filtres.

         1 filtre GIF.

         Type : vert interfrentiel.

         Usage : microscopie monochrome et rglage du contraste.

         Emplacement : porte-filtres.

         1 filtre ND8.

         Type : anti-reflets.

         Usage: anti-reflets pour microscopie en fond clair.

         Emplacement : intgr au bras du microscope (Levier de filtre ND8).

         1 diaphragme d'ouverture (A : Aperture).

         1 diaphragme de champ (F : Field).

         1 table pour des plaques de 3 6 pouces.

         5 objectifs d'agrandissement 5x, 10x, 20x, 50x, 100x de type CF Plan BD DIC:

Agrandissement

Ouverture numrique.

Distance de travail (mm)

5x

0.13

10.0

10x

0.30

7.0

20x

0.46

3.10

50x

0.80

0.54

100x

0.90

0.39

N.B. : Les objectifs ne sont pas quips du filtre de Nomarski.

Informations

NIKON Microscope d'inspection de tranches (CI) - OPTIPHOT-150 - OPTIPHOT-150S - Mode d'emploi.