Reservation  -     

Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Mesure d'paisseur de plaques

Digimicro

Table des matires

Introduction

Principe Physique

Capacit de lquipement

Restriction d'accs

Caractristiques techniques

Informations

Introduction

          Lquipement Digimicro permet de mesurer l'paisseur des plaques de Silicium, Quartz, float glass, ...

Principe Physique

Capacit de lquipement

         Le porte-substrat permet de mesurer des chantillons, des plaques de 100mm ou 150mm de diamtre.

Restriction d'accs

Caractristiques techniques

Informations

Bibliographie :