Reservation  -     

Center of MicroNanoTechnology CMi

EPFL - STI - CMI

Mesure d'épaisseur de plaques

Digimicro

Table des matières

Introduction

Principe Physique

Capacité de l’équipement

Restriction d'accès

Caractéristiques techniques

Informations

Introduction

·          L’équipement Digimicro permet de mesurer l'épaisseur des plaques de Silicium, Quartz, float glass, ...

Principe Physique

Capacité de l’équipement

·         Le porte-substrat permet de mesurer des  échantillons, des plaques de 100mm ou 150mm de diamètre.

Restriction d'accès

Caractéristiques techniques

Informations

Bibliographie :